据业界5日消息，阿斯麦近日与韩国土地住宅公社（LH）签订了购买研发设施用地的合同，以支持三星电子的超微半导体工艺研发。阿斯麦计划建立研发中心，利用新一代EUV技术协助三星电子进行超微半导体技术研究，投资规模高达1万亿韩元（约合人民币52.86亿元）。
EUV设备是半导体微细工艺的核心设备。三星电子、台积电、英特尔等全球领先的半导体企业已向阿斯麦（ASML）下订单，供货周期延长至一年以上。在7纳米及以下的尖端晶圆代工工艺中，EUV设备不可或缺，而阿斯麦是全球唯一的EUV设备制造商。
三星电子与阿斯麦于去年12月在荷兰阿斯麦总部签署了《关于设立EUV联合研究所的合作协议》，将在韩国推进EUV设备的研发和技术创新。三星电子旨在尽早掌握下一代存储器开发所需的EUV技术，并引进最新的EUV设备，以引领微细工艺的变革。阿斯麦购地后，预计将加速自7个月前签署业务协议以来的研发中心建设。如果阿斯麦在韩国的投资顺利推进，三星电子将在EUV设备竞争中占据优势。由此，适用于三星电子工艺的EUV技术将更快得到保障，EUV设备订单也将加速交付。此外，三星电子与阿斯麦的技术联盟还将增强订单协商能力。
据悉，目前三星电子拥有的EUV设备数量为40至50台，仅为晶圆代工竞争对手台积电的40%至50%。若因台积电的大量订单导致阿斯麦在韩国的谈判进展缓慢，三星电子的2纳米量产计划可能会受到影响。阿斯麦每年仅生产5台新一代EUV设备，预计三星电子、台积电和英特尔之间的订单竞争将异常激烈。
业界分析指出，未来若要在1纳米及以下的超微细工艺竞争中取得胜利，必须依赖阿斯麦的新一代EUV设备。因此，三星电子需要进一步扩大与阿斯麦的技术合作范围。业内人士表示，与阿斯麦的技术合作是三星在设备竞争中占据优势的绝佳机会。此次研发中心建设需要加快进度。
荷兰芯片设备制造商阿斯麦（ASML）【图片提供 网络】
